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本技術包含3個主要單元及組合，即TSA、PSA、脫氧干燥，其中，PSA的工藝原理同前述同類技術相同。TSA即變溫吸附技術，根據TSA性能曲線，多組分混合氣在一定的工作壓力下，常溫吸附，高溫解析的特點，使目標產品氣和雜質進行分離。脫氧干燥技術，在催化劑作用下，粗氫氣中的氧和氫反應生成水使得粗氫中的氧被除去;生成的水再由冷卻器冷卻和TSA干燥系統除去，達到提純氫氣的目的。
變壓吸附（Pressure Swing Adsorption.簡稱PSA）是一種新型氣體吸附分離技術，氣體混合物的吸附分離是在固定吸附床中實現的。可適用于變換氣，甲醇裂解氣，甲醇馳放氣、合成氨尾氣，煉廠加氫低分氣、焦爐煤氣、水煤氣、催化干氣，重整氫等各類含氫氣體。
氣體混合物的吸附分離是在固定吸附床中實現的。把一種或多種吸附劑充填在吸附床中，當含氫的混合氣體在一定壓力下進入吸附床后，由于氣體組份存在吸附特性差異，不同的組份在吸附床的不同位置形成吸附富集區，強吸附組份（CO2）富集于吸附床的人口端，弱吸附組份（H2）富集于吸附床出口端，其余組份的富集區以吸附性強弱差異分布于吸附床中部，從而實現CO2的分離脫除。
以空氣為原料，以碳分子篩作為吸附劑，運用變壓吸附原理，利用碳分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱PSA制氮。
以空氣為原料，運用變壓吸附原理，利用沸石分子篩對氧和氮的選擇性吸附而使氮和氧分離的方法，通稱真空變壓吸附制氧
根據原料氣體的來源，采用預處理、變壓吸附（PSA）、變溫吸附（TSA）等工藝組合達到回收氣體的目的。
濕法脫硫是指通過可再生的溶劑將氣體中的硫化氫脫除的過程。適用于各類加氫裝置中循環氫、焦化干氣、催化干氣、加氫干氣、低分氣、焦爐煤氣、煤氣、變換氣等氣體的脫硫
UV光催化氧化法是利用TiO2等催化劑的光催化活性，使吸附在催化介質表面的VOCs發生氧化還原反應，轉化為二氧化碳、水及無機小分子物質。于TiO2價格低廉而來源廣泛，對紫外光吸收率高，抗光腐蝕性、化學穩定性和催化活性高，且沒有毒性，對很多有機物有較強吸附作用，因而成為實驗研究中常用的光催化劑。光催化氧化法的主要優點是能量利用率高，通常在常溫下進行操作，無副產物形成，使用后的催化劑可用物理和化學方法再生后循環使用，VOCs降解率可達到80%。
RCO工藝的原理是以較低溫度有機廢氣（250~500℃）在催化劑的作用下將氣態污染物完全氧化，其去除效率可達90%以上，同時熱回收效率可以達到80～95%以上。應用行業包括石油、化工、橡膠、油漆、涂裝、家俱、印制鐵罐、印刷等行業中產生的中高濃度有機廢氣的凈化處理，可處理的有機物質種類包括苯類、酮類、酯類、酚類、醛類、醇類、醚類和烴類等
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